扫描电子显微镜是一种利用聚焦的高能电子束扫描样品表面，通过检测电子与样品相互作用产生的各种信号，来获取样品表面形貌、成分及结构信息的高分辨率成像仪器。其与能谱仪结合，用于金属材料的微观测试，进行断裂工件的断口观察，测定材料的微区成分。